音や光でモノを見る・動かす―超音波と光波を用いたセンサやアクチュエータの研究
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多自由度超音波モータ
https://www.nakamura.pi.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2019/06/MDFusm01.mp4
リッジモード超音波モータ
https://www.nakamura.pi.titech.ac.jp/wp/wp-content/uploads/2019/06/RidgeUSM.mp4
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たわみ振動棒を用いた進行波型超音波リニアモータ
超音波マイクロリニアモータの圧電基板上への製作
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多自由度超音波モータの小型化とアレイ化
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