音や光でモノを見る・動かす―超音波と光波を用いたセンサやアクチュエータの研究

超音波モータ

研究テーマ

多自由度超音波モータ

リッジモード超音波モータ

小型リニア型モータ

超音波マイクロリニアモータの圧電基板上への製作

多自由度超音波モータの小型化とアレイ化

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